STZ400H半導(dǎo)體四探針測試儀是面向材料電學(xué)性能分析領(lǐng)域研發(fā)的專業(yè)測量設(shè)備，適用于半導(dǎo)體晶圓、薄膜材料、導(dǎo)電涂層等多種場景的電阻率與方阻檢測。該設(shè)備采用經(jīng)典四探針法原理，通過優(yōu)化探針排布結(jié)構(gòu)與信號(hào)采集系統(tǒng)，顯著提升微弱信號(hào)檢測能力，可滿足高阻值材料的精準(zhǔn)測量需求。
儀器搭載智能化測量模塊，支持0.1mΩ·cm至100MΩ·cm寬范圍電阻率測量，最小分辨率達(dá)0.01%。自主研發(fā)的多級(jí)濾波技術(shù)有效抑制環(huán)境干擾，配合三點(diǎn)校準(zhǔn)功能，確保不同量程下的測量一致性。測試平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，適配2-8英寸晶圓片及各類異形樣品，氣動(dòng)升降機(jī)構(gòu)配合激光定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)探針與樣品的自動(dòng)對(duì)位，避免人工操作帶來的測量偏差。
STZ400H配置7英寸觸摸屏操作界面，內(nèi)置多組預(yù)設(shè)測試方案，用戶可通過可視化界面快速完成參數(shù)設(shè)置。數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)支持實(shí)時(shí)曲線顯示與歷史記錄查詢，配備USB/RS232雙接口實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)導(dǎo)出。設(shè)備采用分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，主機(jī)與測試平臺(tái)分離布局，有效降低機(jī)械振動(dòng)對(duì)測量結(jié)果的影響。溫控補(bǔ)償功能可自動(dòng)修正環(huán)境溫度波動(dòng)帶來的數(shù)據(jù)偏差，保障實(shí)驗(yàn)室環(huán)境與生產(chǎn)現(xiàn)場不同工況下的測量穩(wěn)定性。
該產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體材料研發(fā)、光伏電池片生產(chǎn)、金屬鍍層質(zhì)檢等場景，特別在新型半導(dǎo)體材料開發(fā)過程中，可提供重復(fù)性優(yōu)于0.5%的穩(wěn)定測試數(shù)據(jù)。人性化的安全防護(hù)設(shè)計(jì)包含過載保護(hù)、誤操作提示、緊急制動(dòng)等多重防護(hù)機(jī)制，測試架絕緣強(qiáng)度滿足高壓測試需求。通過持續(xù)優(yōu)化探針材料和接觸算法，探針使用壽命較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升50%以上，有效降低設(shè)備維護(hù)成本。
