在線詢價(jià)數(shù)字式0.5%精密微小氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器 氫氣氮?dú)饬髁靠?/p>
產(chǎn)品概述
數(shù)字式0.5%精密微小氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器是一款采用熱式測量原理的高精度流量控制設(shè)備，適用于氫氣、氮?dú)獾榷喾N氣體的精確測量與控制。該產(chǎn)品通過毛細(xì)管傳熱溫差量熱法實(shí)現(xiàn)流量檢測，不受溫度壓力波動(dòng)影響，能夠穩(wěn)定輸出與設(shè)定值一致的流量數(shù)據(jù)。設(shè)備采用本地高清晰液晶顯示屏，可實(shí)時(shí)顯示瞬時(shí)流量、累積流量等參數(shù)，操作界面直觀便捷。
技術(shù)特點(diǎn)
該控制器具有0.5%的高測量精度和優(yōu)異的重復(fù)性，響應(yīng)時(shí)間短至1秒內(nèi)，能夠滿足快速流量調(diào)節(jié)需求。產(chǎn)品采用不銹鋼殼體材質(zhì)，支持4-20mA、0-5V模擬信號(hào)輸出及RS485數(shù)字通訊接口，便于系統(tǒng)集成。工作壓力范圍寬達(dá)0.05-0.3MPa，耐壓最高可達(dá)3MPa，適用于不同工況環(huán)境。特殊設(shè)計(jì)的層流結(jié)構(gòu)確保在微小流量范圍內(nèi)（最低可達(dá)5SCCM）仍保持穩(wěn)定測量性能。
應(yīng)用場景
該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏新能源、醫(yī)療設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室研究等領(lǐng)域，特別適合需要精確控制氫氣、氮?dú)獾葰怏w流量的工藝環(huán)節(jié)。在熱處理保護(hù)氣控制、化學(xué)氣相沉積、氣體配比混合等場景中表現(xiàn)出色，能夠有效提升工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品一致性。產(chǎn)品采用模塊化設(shè)計(jì)，支持卡套連接方式，安裝維護(hù)簡便。
產(chǎn)品優(yōu)勢
相比傳統(tǒng)流量控制設(shè)備，該產(chǎn)品具有更寬的量程比（可達(dá)100:1）和更好的線性度（±0.5%F.S），在長時(shí)間工作中保持穩(wěn)定的控制性能。智能化的溫度補(bǔ)償算法確保在不同環(huán)境溫度下都能提供準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。產(chǎn)品提供多種量程規(guī)格可選，從0-5SCCM到0-100SLM滿足不同流量控制需求，用戶可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選擇合適型號(hào)。
在線詢價(jià)數(shù)字式0.5%精密微小氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器 氫氣氮?dú)饬髁靠?/p>
上海雙旭電子有限公司
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