DHDP系列 射頻CCP薄膜沉積裝置廠家【上海雙旭】DHDP系列 射頻CCP薄膜沉積裝置廠家【上海雙旭】DHDP系列 射頻CCP薄膜沉積裝置廠家【上海雙旭】
常壓微波射流等離子體實驗裝置微波源產(chǎn)生2.45GHz的電磁波，沿矩形波導(dǎo)管傳輸，在諧振腔內(nèi)的微波天線及其噴嘴正上方的波導(dǎo)開孔處擊穿氣體放電，產(chǎn)生常壓微波等離子體射流（Microwave Plasma Jet，MPJ）。裝置可開設(shè)分解處理各種廢氣實驗制備納米材料材料表面清洗及改性、MPJ材料加工等實驗。適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實驗，或作為科學(xué)研究之用。
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